Diener等離子清洗機(jī)PICO售價(jià)Pico 等離子設(shè)備可以組合可以實(shí)現(xiàn)不同的功能，例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)組合使用的常見選裝件的概覽。Pico 系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：分析 (REM, TEM)、考古、汽車、研究和開發(fā)部門、半導(dǎo)體技術(shù)、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)、傳感技術(shù)、紡織技術(shù)。基本裝備：根據(jù)組件/選裝件，外殼規(guī)格會有所不同。腔室容積：根據(jù)具體版本 4 - 15 升。供電電源：臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位。氣體供給：針型閥、質(zhì)量流量控制器 (MFC)。真空腔室：圓形不銹鋼，帶蓋（約 ? 150 mm，長 320 mm 或長 600 mm）。矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm）。矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ? 160 mm x 160 mm，長 325 mm 或長 600 mm）。圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ? 130 mm，長 300 mm 或長 600 mm）。圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ? 130 mm，長 300 mm 或長 600 mm）。裝載件：產(chǎn)品支架（選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃。電極：單層或多層、RIE。控制系統(tǒng)：半自動(dòng)型、PCCE 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)、PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)、旋轉(zhuǎn)開關(guān)。壓力測量：Pirani/電容式壓力計(jì)。計(jì)時(shí)器：數(shù)字式。發(fā)生器：40 kHz：功率 0 - 200 W；0 -1000 W、100 kHz：功率 500 W、80 kHz：功率 1000 W、13.56 MHz：功率? 0 - 100 W；0 - 300 W、2.45 GHz：功率 0 - 300 W、所有發(fā)生器均為 0 - 100.% 無級可調(diào)型。 其它選項(xiàng)：備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。Diener等離子清