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    反應燒結碳化硅陶瓷懸臂槳

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    認證資料 Certification Data

    濰坊華美精細技術陶瓷股份有限公司

    • 聯系人:李雅新
    • 官網地址:www.wf-hm.com
    • 經營模式:制造商
    • 主營產品:碳化硅陶瓷板,碳化硅陶瓷輥棒,噴火嘴,熱輻射間接加熱系統,陶瓷復合管件
    • 所在地:濰坊市坊子區北大營街3號院內
    • 供應產品:19
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    Product details

    反應燒結碳化硅陶瓷懸臂槳

    產品概要: 懸臂槳,是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。KCE?系列反應燒結碳化硅陶瓷懸臂槳性能穩定,在高溫環境不變形,晶圓裝載量大,適用于機器人自動裝載和搬運系統,且其截面穩定不變形,使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。加之與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近,應用于LPCVD,可極大地延長維護清洗周期,并大幅減少污染物。

    反應燒結碳化硅陶瓷懸臂槳

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