等離子清洗工藝流程圖

產品技術規格介紹

QT-60-PSP中型等離子清洗機規格

主要技術參數：
1) 整機外形尺寸（約）: 900W×1700H×1000D（mm） 外觀噴塑處理；
2) 反應倉尺寸： W450mm×H300mm×D450mm；
3) 電源：主系統電源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz～60Hz  三相五線
4) 等離子體頻率：13.56MHz；
5) 射頻電源功率：（0～600）W連續可調；
6) 設備功率：≤3kW
7) 控制方式：采用包括觸摸屏人機界面的PLC控制，操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理，可同時存儲100組不同的配方。使用時只需要將相應配方號調出即可。設備參數分級管理，設備操作員、工藝人員、維護人員使用不同口令管理不同參數，提高設備安全性。手動模式用于實驗工藝以及設備維護維修。
8) MFC質量流量計控制（標準配置2路）
9) 氣體流量：(0～200)ml/min （標準氣壓,0℃）
10) 工作氣體(氧、氬等)接口壓力：≤0.45MPa
11) 壓縮空氣（啟動氣動角閥）接口壓力：0.45Mpa
12) 凈化冷卻氣體（氮氣）接口壓力：0.45MPa
13) 設備工作節