設(shè)備特點(diǎn)：

石英舟 調(diào)角機(jī)構(gòu)可根據(jù)石英舟需要調(diào)節(jié)傾角。一般為3度 四節(jié)皮帶獨(dú)立運(yùn)動(dòng)，互補(bǔ)干涉， 在靠近石英舟的時(shí)候可以慢速運(yùn)行，不至于撞壞硅片而且不影響整機(jī)的工作效率。 機(jī)器自帶入藍(lán)導(dǎo)引裝置和校正機(jī)構(gòu)， 可以裝入藍(lán)前可能存在的跑偏等現(xiàn)象自動(dòng)校正 機(jī)器配在伸縮皮帶裝置， 使硅片能夠很順暢的進(jìn)入石英舟 機(jī)器自帶缸藍(lán)托架，可根據(jù)需要折疊起來， 節(jié)省空間 可根據(jù)工藝需要完成自動(dòng)翻片， 自動(dòng)疊雙片， 背靠背疊加， 自動(dòng)裝雙片的功能。